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碳碳坩堝的技術標準是什么?

  碳/碳復合坩堝由高強度碳纖維和增強碳基體組成的復合材料制成。使用的碳纖維具有低堿金屬雜質含量、高強度和高彈性模量。它采用整體結構和近凈成型的設計理念,通過制坯、致密化、凈化、高溫熱處理和表面涂層處理工藝制造而成。用于制備單晶硅熱場的零件必須經過提純,保證金屬雜質含量降低到100ppm以下,滿足制備熱場零件的要求。生產過程如圖3所示。碳/碳坩堝的生產工藝及其自身特點如下:

(1)碳/碳復合材料坩堝采用整體設計理念,由碳纖維增強碳基體制成,強度高,結構簡單,重量輕,操作方便;

(2)碳/碳復合材料制成的坩堝熱膨脹系數(shù)小,抗熱震性好,在快速加熱和快速冷卻的環(huán)境下使用不開裂,使用壽命長。  

(3)生產流程短,生產和使用能耗大幅降低,主要工序在密閉設備中進行,無有害氣體排放,對環(huán)境無不利影響;

(4)采用成熟的3D編程技術,坩堝結構可設計性好,尺寸精度高,各種尺寸的坩堝質量穩(wěn)定;

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